技術(shù)編號(hào)：11273314
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種磁軸承式真空泵。背景技術(shù)在控制式磁軸承類型的真空泵中，轉(zhuǎn)子(rotor)組件不與定子(stator)組件接觸而進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)于此種真空泵來(lái)說(shuō)，即使在間隙最小的部位即保護(hù)軸承(touchdownbearing)(備用的機(jī)械軸承)處，也具有100μm左右的間隙。因此，與接觸式的滾珠軸承類型相比，有如下特征：能夠緩和轉(zhuǎn)子不平衡修正的追隨基準(zhǔn)。而且，若存在轉(zhuǎn)子不平衡，則會(huì)因該轉(zhuǎn)子不平衡而在徑向(radialdirection)上產(chǎn)生離心旋轉(zhuǎn)位移，另外，有時(shí)會(huì)因徑向上的離心旋轉(zhuǎn)而在軸向...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。