技術(shù)編號：11273295
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及防止消音器凍結(jié)或冷凝的泵和液體供應(yīng)裝置。背景技術(shù)基板表面上的如顆粒、有機污染物和金屬污染物等污染物嚴(yán)重影響了成品率和裝置的特性。因此，在半導(dǎo)體制造工藝期間，去除附著到基板表面的不同類型污染物的清洗工藝被視為重要工藝，并且在半導(dǎo)體制造工藝的每個單元工藝之前或之后對基板進行清洗。同時，清洗工藝使用諸如化學(xué)液的化學(xué)品。在化學(xué)液供應(yīng)裝置中使用的泵可以是使用空氣壓力的波紋管型。這種泵在通氣單元中產(chǎn)生嚴(yán)重的排氣聲。因此，通常在通氣單元中安裝消音器。圖1示出了常規(guī)使用的泵1。在泵的通氣單元2中，安裝...
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