技術(shù)編號(hào):11272304
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及捕集裝置和使用了該捕集裝置的排氣系統(tǒng)、以及基板處理裝置。背景技術(shù)以往以來(lái),公知有設(shè)置于對(duì)基板實(shí)施成膜的成膜裝置的排氣系統(tǒng)而對(duì)排氣中所含有的反應(yīng)副生成物進(jìn)行捕獲的捕集裝置(參照例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。例如,專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的捕集裝置構(gòu)成為,具有氣體導(dǎo)入口和氣體排出口而殼體夾設(shè)于排氣系統(tǒng),設(shè)置有將殼體內(nèi)分隔成多個(gè)室的分隔板,并且,以排氣在多個(gè)室內(nèi)依次流動(dòng)的方式在分隔板形成有氣體流通口,為了捕獲反應(yīng)副生成物,該捕集裝置具備收容于各室內(nèi)的捕集機(jī)構(gòu)。并且,通過(guò)使排氣經(jīng)由各室依次流動(dòng),將反應(yīng)副生成物高效...
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