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光檢測(cè)裝置及光檢測(cè)系統(tǒng)的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11261493

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本申請(qǐng)涉及光檢測(cè)裝置及光檢測(cè)系統(tǒng)。背景技術(shù)作為觀察對(duì)象物并取得其信息的裝置,已知有干涉計(jì)及相位差顯微鏡。干涉計(jì)從光源向?qū)ο笪镎丈渚哂邢喔尚缘膯紊?,使透射或反射后的?信號(hào)光)與來(lái)自同一光源的光(參照光)干涉而檢測(cè)。通過(guò)將因信號(hào)光與參照光的光路差而產(chǎn)生的干涉條紋進(jìn)行解析,能夠取得對(duì)象物的表面形狀及入射光的波面形狀等信息。例如在特開(kāi)2015-17968號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了干涉計(jì)。相位差顯微鏡是將因?qū)ο笪锏母鞑糠值恼凵渎驶蚝穸鹊牟町惗谕干涔庵挟a(chǎn)生的相位差變換為光的明暗來(lái)觀察對(duì)象物的裝置。即使對(duì)象物透明,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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