技術(shù)編號：11243906
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料制備領(lǐng)域，尤其涉及一種在藍(lán)寶石襯底上制備納米晶石墨烯的方法。背景技術(shù)二維晶體結(jié)構(gòu)材料石墨烯具有出眾的物理、機(jī)械、化學(xué)和電學(xué)特性，在高頻電子器件，光電子器件，高靈敏度傳感器等領(lǐng)域具有重要的潛在應(yīng)用。大尺寸石墨烯材料可控制備是實(shí)現(xiàn)石墨烯應(yīng)用的前提。目前晶圓級石墨烯材料制備方法主要以碳化硅高溫升華法和金屬襯底化學(xué)氣相沉積法為主。其中，前者的優(yōu)點(diǎn)是碳化硅襯底絕緣，材料無需轉(zhuǎn)移，但受限于碳化硅襯底的尺寸和價(jià)格，不利于石墨烯的推廣研究；后者的優(yōu)點(diǎn)是成本低，但需要將石墨烯材料從金屬襯底上轉(zhuǎn)...
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