技術(shù)編號(hào):11166911
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī),屬于藍(lán)寶石襯底片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)良的光學(xué)性能、物理性能和穩(wěn)定的化學(xué)性能,廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料、各種光學(xué)元器件、掃描儀窗口材料。藍(lán)寶石襯底片由長(zhǎng)晶、掏棒、切片、退火、研磨、拋光等工序制得,加工過(guò)程中的清洗,特別是化學(xué)機(jī)械拋光后的清洗則是決定下道工序產(chǎn)品質(zhì)量的重要步驟和指標(biāo),目前利用很多包括超聲波、兆聲波在內(nèi)的清洗方法和技術(shù)上,結(jié)合目前化學(xué)活性劑的加入,從而達(dá)到最佳的清洗效果。藍(lán)寶石襯底片清洗主要分為堿洗和酸洗兩...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。