技術(shù)編號：11160663
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物及其固化物。更具體地，本發(fā)明涉及良好的側(cè)壁形狀和分辨率優(yōu)異的影像形成性、固化物的殘留應(yīng)力小、防止基板的翹曲，濕熱試驗后與基板的緊密貼合性優(yōu)異的感光性樹脂組合物及其固化物。具有這樣的優(yōu)異特性的本發(fā)明的感光性樹脂組合物及其固化物在MEMS(微電子機械系統(tǒng))部件、μ-TAS(微小全分析系統(tǒng))部件、微型反應(yīng)器部件、電容器、電感器等電子部件的絕緣層、LIGA部件、用于微小射出成型和熱軋花的模具和印花、用于微細印刷用途的屏幕或模版、MEMS傳感器/半導(dǎo)體設(shè)備/頻率設(shè)備的封裝部件、生...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。