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防護(hù)膜組件、其制造方法及曝光方法與制造工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11160655

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本發(fā)明涉及光刻工序所使用的防護(hù)膜組件、其制造方法以及曝光方法。特別是,本發(fā)明涉及遠(yuǎn)紫外光(ExtremeUltraviolet:EUV)光刻用的防護(hù)膜組件、其制造方法及使用了該防護(hù)膜組件的曝光方法。背景技術(shù)光刻工序中,為了防止在掩模或中間掩模上附著塵埃等,使用了在包圍掩模圖案的大小的框的一端張緊架設(shè)了防護(hù)膜的防護(hù)膜組件。在這樣的防護(hù)膜組件被安裝在掩模上的狀態(tài)下,防護(hù)膜組件內(nèi)部的氣密性極其高,由于氣壓變化、溫度變化,有時(shí)薄膜的防護(hù)膜成為松弛或膨脹的狀態(tài)。這樣在防護(hù)膜失去平滑性的情況下,不僅使防護(hù)膜...
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