技術(shù)編號：11146966
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于材料科學領(lǐng)域，具體涉及一種采用激光直寫制備微納中空結(jié)構(gòu)的方法，可用于微流控、生物芯片、通道互聯(lián)等領(lǐng)域。背景技術(shù)微納米構(gòu)造制備在過去幾十年里獲得了突破性的進展，不論是結(jié)構(gòu)特征尺度還是復雜程度都有了長足的進步。新型精確制備方法的快速發(fā)展使得許多以前沒有能力完成的微納結(jié)構(gòu)和器件有了實現(xiàn)手段。人們通過平面工藝可以實現(xiàn)各種復雜輪廓，諸如MEMS器件、微流控管道、生物芯片等實用器件；灰度掩模曝光工藝可以實現(xiàn)曲面輪廓、3D構(gòu)造等平面工藝難以完成的微結(jié)構(gòu)，如各種微光學器件。這些技術(shù)上的進步促進了微納加...
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