技術(shù)編號(hào)：11143027
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種超聲波傳感器以及其制造方法。背景技術(shù)以往，已知一種呈陣列狀地配置具有開口部的半導(dǎo)體基板、封閉開口部并被形成在半導(dǎo)體基板的表面的絕緣膜層上的兩層電極、以及夾在兩層電極之間的PZT陶瓷薄膜層的超聲波傳感器。專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-164331號(hào)公報(bào)在這種呈陣列狀地配置元件的超聲波傳感器中，雖然第一電極、第二電極在列方向上共用化而引出，但特別是在共用配線中，隨著沿著列方向上與外部連接端子遠(yuǎn)離，阻抗增大，發(fā)送/接收的效率降低，可靠性降低。另外，如果使用通常的電極材料即金(Au)、銅(...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。