技術(shù)編號(hào)：11132756
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。納米粒子-聚合物抗蝕劑技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明大體上涉及半導(dǎo)體和半導(dǎo)體工藝的領(lǐng)域。確切來說，本發(fā)明提供一種包括納米粒子-聚合物抗蝕劑的復(fù)合材料。背景技術(shù)近年來已開發(fā)金屬氧化物納米粒子以用于光致抗蝕劑。由有機(jī)配體(如甲基丙烯酸)圍繞的一些金屬氧化物(如HfO2或ZrO2)可以在EUV波長下經(jīng)圖案化。在這種工藝期間，配體添加到金屬氧化物中以形成納米粒子聚集體，所述納米粒子聚集體與光酸產(chǎn)生劑組合以形成光致抗蝕劑。由溶劑(如PGMEA)涂布的這些光致抗蝕劑可以呈正(水性堿)或負(fù)(2-庚酮)型顯影。然而，仍需要一種...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。