技術(shù)編號(hào)：11051037
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型主要涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種新型芯片清洗裝置。背景技術(shù)在微電子科學(xué)與工程技術(shù)領(lǐng)域中，芯片是制作微電子器件的基本元件，而在半導(dǎo)體芯片制作過程中，芯片清洗的好壞直接決定芯片的質(zhì)量。在對(duì)芯片進(jìn)行清洗時(shí)，首先需要將芯片浸泡在化學(xué)試劑中一定時(shí)間，使用化學(xué)試劑對(duì)芯片表面進(jìn)行浸泡清洗，然后再將經(jīng)化學(xué)試劑清洗過的芯片使用高純水進(jìn)行清洗，以置換掉殘留化學(xué)試劑和雜質(zhì)離子等?，F(xiàn)有技術(shù)中在對(duì)芯片進(jìn)行化學(xué)試劑清洗后拿出芯片時(shí)，需要借助其他工具一個(gè)一個(gè)的拿出芯片在放入水槽內(nèi)進(jìn)行清洗，浪費(fèi)時(shí)間而且很不方便，操...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。