技術(shù)編號：11038212
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及具有雙軸致動(dòng)的微機(jī)械結(jié)構(gòu)以及相應(yīng)的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))設(shè)備；特別地，本公開將涉及用于例如為投影儀的光學(xué)MEMS設(shè)備的反射器微機(jī)電結(jié)構(gòu)(也被稱為“微鏡”)。背景技術(shù)反射器微機(jī)械結(jié)構(gòu)是已知的，其至少部分地由半導(dǎo)體材料并使用MEMS技術(shù)制作。這些微機(jī)械結(jié)構(gòu)可以被集成在便攜電子裝置中，諸如舉例而言，平板電腦、智能電話、PDA，以用于光學(xué)應(yīng)用，特別是用于以期望的模式引導(dǎo)由通常是激光器的光源所生成的光輻射束。由于減小的尺寸，微機(jī)械結(jié)構(gòu)使得關(guān)于空間占用在面積和厚度方面能夠滿足嚴(yán)格的要求。例如，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。