技術(shù)編號：11016119
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體集成電路制造過程中，硅晶片需要在貼合、劃片等多達(dá)幾百種工藝設(shè)備之間來回傳輸并進(jìn)行加工檢測。在加工檢測過程中，需要將硅晶片十分平穩(wěn)、固定地安放在工藝設(shè)備上。目前市場上通用的是靜電吸盤，靜電吸盤以其作用力分布均勻，硅晶片不會翹曲、非直接接觸、污染少及可用于高真空環(huán)境中而得到應(yīng)用。然而現(xiàn)有的靜電吸盤存在不耐高溫、易于損耗、不耐酸堿和有機溶劑、不易清洗、易污染晶圓片，要經(jīng)常更換的缺點。目前， 也有陶瓷吸盤，其采用陶瓷材質(zhì)，制造難度大、成本高、易碎。發(fā)明內(nèi)容...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。