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一種具有拖動(dòng)功能的分子泵底盤的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10918202

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分子栗屬于一種高速高精密高端真空獲得設(shè)備,從結(jié)構(gòu)上分為兩大類普通渦輪分子栗和復(fù)合分子栗,前者的抽氣模塊全部由渦輪動(dòng)靜葉片相間匹配組成,后者的抽氣模塊則由渦輪級(jí)合理串接分子牽引級(jí)組成,而牽引級(jí)又分為筒式牽引級(jí)(柱拖栗)和盤式牽引級(jí)(盤拖栗),目前盤拖栗或串接有盤式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗中的抽氣盤均為鋁件薄盤, 而分子栗的底盤為光面底盤,如中國專利文獻(xiàn)CN87208695或CN201615077中提到的抽氣盤, 在盤體的一面或兩面開有抽氣溝槽,盤體厚度尤其是抽氣...
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