技術(shù)編號：10903493
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機電系統(tǒng)(MEMS，Micr〇-Electr〇-Mechanical System)，也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械、微機電裝置等，是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的， 融合了光刻、腐蝕、薄膜、光刻-電鑄-注塑加工、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的電子機械器件。請參閱圖1，現(xiàn)有微機電裝置在將功能晶片91安裝在基板92上時，一般采用氣動或電動點膠閥在基板92指定位置點膠，形成點膠圖形93,然后將晶片91貼在點膠圖形93上。...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。