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一種利用應(yīng)變片測(cè)量微通道氣體分布式壓力的裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10853734

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微流體技術(shù)是指在微觀尺寸下控制、操作和檢測(cè)復(fù)雜流體的技術(shù),是在微電子、微機(jī)械、微加工基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一門(mén)全新交叉學(xué)科。而微通道中微流體壓力測(cè)量也是目前比較重要的研究方向,特別是對(duì)于微壓力的控制,如生物、醫(yī)學(xué)芯片、微機(jī)械電子、微小型航天器、以及生物體微循環(huán)系統(tǒng)的壓力測(cè)量等。目前國(guó)內(nèi)外壓力測(cè)量已從單純的機(jī)械測(cè)量(如彈簧管式、膜片式、隔膜式壓力表),發(fā)展到各種不同原理的壓力傳感器,如電阻應(yīng)變式、電容式、壓電式、擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器等。這些現(xiàn)有的大尺度測(cè)壓裝置比...
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