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防止?jié)穹涛g槽滴液的裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10825022

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現(xiàn)有技術(shù)中的結(jié)構(gòu),由于刻蝕槽內(nèi)藥液溫度過低,與外界環(huán)境溫度有較大差異,會造成冷凝水形成。冷凝水形成原因刻蝕槽因溫度較低0°C_3°C,導(dǎo)致整個槽內(nèi)環(huán)境包含蓋板溫度較低,外界特別是高溫且濕度較大的夏天遇到冷的槽蓋后形成冷凝水。滴落暗斑形成原因冷凝水與刻蝕槽藥液(HN03/HF/H2SiF6)揮發(fā)的酸氣結(jié)合,時間久了形成濃度較高的酸液,滴落在片子上形成腐蝕坑,造成EL下暗斑。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是克服了上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,提供了一種能夠?qū)崿F(xiàn)不允許蓋板液...
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