技術(shù)編號(hào)：10711611
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微納加工技術(shù)越來越受到國(guó)內(nèi)外的關(guān)注，隨著微納技術(shù)的不斷發(fā)展，許多應(yīng)用領(lǐng)域?qū)ξ⒓{米級(jí)微納加工技術(shù)提出了更多的要求。而目前研究主要集中在一維微納加工執(zhí)行機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，且普遍存在運(yùn)動(dòng)行程短小，自由度單一，無法實(shí)現(xiàn)“非等參數(shù)”刀具路徑規(guī)劃，難以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜表面形貌主動(dòng)控制的問題。即現(xiàn)有精度高的定位微納加工操作器往往行程小，不能同時(shí)滿足實(shí)際試驗(yàn)中多自由度及大行程的要求;而在加工精度方面有明顯提高的，卻難以實(shí)現(xiàn)微小型復(fù)雜結(jié)構(gòu)的微納加工。因此，如何提供一種具有多自由度、大行程和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。