技術編號：10698963
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種用于處理器件(特別是在所述器件中包含有機材料的器件)的處理設備被描述。所述處理設備包含處理真空腔室；用于有機材料的至少一個蒸發(fā)源，其中所述至少一個蒸發(fā)源包含至少一個蒸發(fā)坩鍋，其中所述至少一個蒸發(fā)坩鍋經(jīng)配置以蒸發(fā)所述有機材料，及具有一個或多個出口的至少一個分布管路，其中所述至少一個分布管路與所述至少一個蒸發(fā)坩鍋流體連通；及與所述處理真空腔室連接的維護真空腔室，其中所述至少一個蒸發(fā)源可從所述處理真空腔室被傳送至所述維護真空腔室，及從所述維護真空腔室至所述處...
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