技術編號：10660190
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。壓電粘滑直線電機是一種基于壓電元件的逆壓電效應，在非對稱電信號激勵下激發(fā)定子(或稱振子)產(chǎn)生微幅高頻振動，利用定子與動子間的摩擦耦合實現(xiàn)機械能輸出的微納精密壓電粘滑直線電機。按照驅動原理的不同，壓電粘滑直線電機主要分為共振型壓電電機(也稱超聲波電機)與非共振型壓電電機(也稱壓電粘滑電機)兩大類。與共振型壓電電機相比，壓電粘滑直線電機具有結構簡單緊湊、易裝配、控制方便、定位精度高以及行程不受限等特點，被廣泛應用于半導體加工、精密光學儀器等微納精密驅動與定位。...
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