技術編號：10653093
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。近年來，通過使用圖案光產(chǎn)生單元(諸如數(shù)字鏡器件(DMD)、液晶型光學調(diào)制器件以及形成圖案的掩模)來產(chǎn)生圖案光、然后執(zhí)行圖案投射、曝光和測量的裝置是已知的。例如，使用圖案投射方法的某一測量裝置將圖案光投射在目標上，捕捉目標的圖像，并且基于捕捉的圖像來測量目標的形狀。測量裝置包括測量頭和成像單元，測量頭包括用于投射圖案光的投射單元，成像單元用于捕捉目標的圖像。測量裝置在測量裝置的內(nèi)部或外部設有計算單元。投射單元通過圖案光產(chǎn)生單元來產(chǎn)生圖案光。投射單元通過投射透...
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