技術(shù)編號:10638659
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。表面圖案化技術(shù)對于現(xiàn)代科學和技術(shù)的發(fā)展有著重要的意義。隨著近幾十年來科學技術(shù)的發(fā)展,人們不但可以借助掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡等先進儀器在微米和納米尺度上對固體表面的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)進行表征,而且還可以通過各種物理、化學、甚至生物的表面圖案化技術(shù)對固體表面上的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)進行控制。微米和納米尺度上表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的微加工或圖案化已逐漸成為當代科學和技術(shù)的中心,許多現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的機會都來源于新型微觀結(jié)構(gòu)的成功構(gòu)造或現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的小型化,飛速發(fā)展的微電子行業(yè)就是一個最...
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