技術(shù)編號:10621948
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。類單晶成長技術(shù)是一種半融法技術(shù)。在類單晶成長技術(shù)中,是先在坩禍內(nèi)先鋪設(shè)一些單晶來作為長晶的晶種,再于這些單晶上鋪設(shè)硅材。接著,在長晶爐內(nèi)加熱坩禍內(nèi)的硅材,借以融化這些硅材。在加熱硅材的期間,透過溫控方式,使硅材由上而下融化,且控制硅材的融化高度于單晶晶種的位置。當(dāng)硅材融化至單晶晶種的位置時,將長晶爐切換成長晶模式,此時硅晶的成長沿著單晶晶種成長,而得到單晶晶碇。但因?yàn)檫@樣的方式所成長的單晶晶碇并非柴氏(Czochralski)長晶技術(shù)所得,因而并非無缺陷,...
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