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一種新型薄膜體聲波諧振器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10596853

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薄膜體聲波諧振器是一種基于壓電技術(shù)的元器件,該諧振器的尺寸極小,比單純以電磁波為傳播信號的元器件尺寸小4?5個數(shù)量級;插損小,Q值高,可達1000以上;工作頻率高,可承受的功率容量比聲表面波器件更大;并且可以與CMOS工藝兼容,鑒于以上優(yōu)點薄膜體聲波諧振器技術(shù)迅速占領(lǐng)了射頻通信市場,在傳感器領(lǐng)域,如生化檢測、紫外線檢測等也有著廣闊的應(yīng)用前景。 薄膜體聲波諧振器的核心結(jié)構(gòu)是電極-壓電層-電極構(gòu)成的“三明治”結(jié)構(gòu),其工作原理就是利用壓電層的逆壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)...
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