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低觸發(fā)耐正負(fù)壓的scr esd防護(hù)器件及其工藝方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10595815

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隨著半導(dǎo)體工藝尺寸的縮小,器件工作電壓與擊穿電壓的差距越來越小,集成電路的靜電泄放(Electro-Static discharge,ESD)問題越來越顯著。通常情況下IC端口的工作電壓在OV到電源電壓之間,從而普通器件端口的ESD結(jié)構(gòu)也只需要保證端口電壓在OV和電源電壓之間時ESD器件沒有漏電流。圖1為現(xiàn)有高觸發(fā)耐正壓的SCR器件剖面結(jié)構(gòu)圖,該結(jié)構(gòu)包括P型襯底(PSUB)I,P型掩埋層(BP)2、17,P阱(PWELL)3、16,P摻雜有源區(qū)(P+)4、...
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