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研磨用磨粒、及其制造方法、研磨方法、研磨裝置及漿料的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10578749

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本發(fā)明是以濕式研磨法研磨被研磨材。漿料是將研磨用磨粒分散于純水中而成。研磨用磨粒是使發(fā)揮機械化學(xué)作用的成分、或?qū)ρ心ケ谎心ゲ臅r產(chǎn)生的摩擦熱起反應(yīng)的成分等以全體一體化成粒子狀。各成分是分別保持各成分的物質(zhì)固有的性質(zhì)的狀態(tài),通過機械合金化處理而相互直接結(jié)合而成。藍(lán)寶石或碳化硅或氮化鎵等摩擦工序中使用該漿料時,可比過去大幅縮短研磨時間,可大幅改善加工成本。研磨面為高質(zhì)量。研磨用磨粒可重復(fù)使用于研磨處理。由于漿料的pH為3~9左右,所以不會對研磨作業(yè)場環(huán)境造成影響...
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