技術(shù)編號:10576956
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。等離子裝置所產(chǎn)生的等離子的特性可用以評估等離子裝置的性能。在等離子特性的分析技術(shù)中,目前大都利用光柵光譜儀來偵測與分析等離子型態(tài)。然而,利用光柵光譜儀進行偵測時,僅能得知等離子的物種與相對強度,而無法得知等離子的形狀與絕對強度等基本特性。此外,現(xiàn)今尚未開發(fā)出可正確評估等離子的大小與形狀的技術(shù)。而且,也無可直接評估等離子的強度分布的技術(shù)。發(fā)明內(nèi)容因此,本發(fā)明的一目的就是在提供一種,其可以非接觸的方式,有效偵測出等離子放電輝光的形狀、大小、溫度分布、顏色分布與...
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