技術編號：10548961
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。太陽能電池需要一個大面積的PN結以實現(xiàn)光能到電能的轉(zhuǎn)換，而擴散爐即為制造太陽能電池PN結的專用設備。擴散爐一般包括設置有爐門的爐體，爐體內(nèi)設有石英舟，硅片放置于石英舟上，爐體上設有用于擴散氣體進入爐體內(nèi)的進氣管和擴散處理后排放尾氣的排放管，所述排放管上連接有抽風機，擴散一般用三氯氧磷液態(tài)源作為擴散源，把P型硅片放在擴散爐的石英舟內(nèi)，在850-900攝氏度高溫下使用氮氣將三氯氧磷帶入石英舟，通過三氯氧磷和硅片進行反應，得到磷原子，經(jīng)過一定時間，磷原子從四周進...
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