技術(shù)編號(hào)：10547438
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本文描述的是揮發(fā)性的且熱穩(wěn)定的氨基烷氧基硅烷，更具體是雙氨基烷氧基硅 烷，以及使用其沉積化學(xué)計(jì)量或非化學(xué)計(jì)量的含硅膜的方法，所述含硅膜例如，但不限于氧 化硅膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜、碳氧化硅膜和碳氮氧化硅膜。 美國(guó)專(zhuān)利第4,491，669號(hào)公開(kāi)了純的對(duì)應(yīng)于下述通式的混合烷氧基氨基硅烷的制 備RmSi (Of )n(NR〃）P，其中R為氫、短鏈烷基或烯基或者芳基;R〃和獨(dú)立地為氫、短 鏈烷基或者芳基，其中至少一個(gè)不是氫;V為短鏈烷基或者芳基;且m、n和p是...
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