技術(shù)編號(hào):10544459
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前氦氣和氮?dú)庀嗷旌显O(shè)備所采用的氦氮混合氣通入的方法,由于氦氣和氮?dú)鈿馄康膲毫Σ坏?,直接混合或者手?dòng)控制混合,混合出來的氣體的配比精度不高,同時(shí)不能回收多余的氦、氮混合氣。發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)與不足,本發(fā)明公開了帶回收功能的高精度氮氦混合裝置,包括混合器,所述混合器的輸入端分別接有氦氣輸氣管和氮?dú)廨敋夤?,所述氮?dú)廨敋夤芎退龊廨敋夤艿妮敵龆司O(shè)有電磁閥;所述混合器的輸出端與一緩沖罐的輸入端連接,所述緩沖罐的輸出端經(jīng)過一空氣壓縮機(jī)后接入至一高壓罐...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。