技術(shù)編號：10531480
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。—般而言，微機(jī)電系統(tǒng)是不僅包括電氣部件和機(jī)械部件兩者而且又在實(shí)體上較小的系統(tǒng)，其通常包括具有尺寸一般在大約十微米范圍內(nèi)或更小的特征。術(shù)語“微機(jī)械加工”通常被理解為涉及這樣的微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)備的三維結(jié)構(gòu)和活動件的生產(chǎn)。在過去，微機(jī)電系統(tǒng)中使用改良的集成電路(例如，計(jì)算機(jī)芯片)制造技術(shù)(諸如化學(xué)蝕刻)和材料(諸如硅半導(dǎo)體材料)，所述材料被微機(jī)械加工以提供這些非常小的電氣和機(jī)械部件。然而，最近，其他的微機(jī)械加工技術(shù)和材料已變得可用。如本文所使用的，術(shù)語“微機(jī)械加工設(shè)...
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