技術(shù)編號：10529388
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 隨著技術(shù)的發(fā)展，促使實用化的微波及磁光器件向著平面薄膜方向發(fā)展，進而對 微波及磁光單晶薄膜的厚度提出了更高的要求，從目前生長的幾微米和幾十微米量級發(fā)展 到要生長一百微米甚至幾百微米的單晶厚膜。傳統(tǒng)的薄膜制備方法，如磁控濺射、脈沖激光 沉積、金屬有機氣相沉積等方法均不能實現(xiàn)厚膜的制備，液相外延是由溶液中析出固相物 質(zhì)并沉積在襯底上生成單晶薄層的方法，有望實現(xiàn)厚膜的制備。 液相外延技術(shù)是在同質(zhì)襯底上生長單晶薄膜或厚膜最重要的一種工藝技術(shù)，以單 晶石榴石薄膜為...
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