技術(shù)編號：10518086
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。作為在電子設(shè)備中用于實現(xiàn)計時功能的器件，使用壓電振子。伴隨著電子設(shè)備的小型化，壓電振子也要求小型化，使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems微機電系統(tǒng))技術(shù)所制造的壓電振子(以下，稱為“MEMS振子”。)受到關(guān)注。作為MEM S振子，有使某個振動部和其它的振動部彼此以相反相位振動的構(gòu)成。例如專利文獻I中公開了具有3條振動臂的MEMS振子。在該MEMS振子中，通過使施加于中央的振動臂的電場的方向和施加于外側(cè)2條振動臂的電...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。