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一種單片集成的多功能紫外/日盲紫外雙色探測器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10514052

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本發(fā)明涉及一種紫外/日盲紫外雙色探測器,具體是指。本發(fā)明是通過激光分子束外延技術(shù)在碳化硅襯底上沉積一層氧化鎵薄膜,然后利用掩膜版并通過射頻磁控濺射技術(shù)在碳化硅襯底和氧化鎵薄膜上沉積一層鈦/金薄膜作為電極使用。本發(fā)明的優(yōu)點是所制備的單片集成的多功能雙色紫外探測器具有反應(yīng)靈敏,性能穩(wěn)定,暗電流小,在不同電壓模式下可以分別實現(xiàn)日盲區(qū)紫外火焰探測以及紫外線強度檢測的功能,可應(yīng)用于火災(zāi)報警、高壓線電暈以及太陽光紫外線強度的探測;另外,該制備方法具有工藝可控性強,操作...
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