技術(shù)編號(hào)：10490667
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在顯示基板的制備過程中，需要對(duì)顯示基板進(jìn)行各種加工處理，例如蒸鍍、濺射等。在進(jìn)行各種加工處理時(shí)，通常采用承載基板支撐顯示基板。在加工處理結(jié)束之后，承載基板與顯示基板被一同傳送到分離腔室，通過頂銷基座將顯示基板頂起，以實(shí)現(xiàn)顯示基板與承載基板的分離。在該分離過程中，由于顯示基板與頂銷的接觸面積較小，顯示基板在與頂銷接觸的位置處承受壓力，從而容易損傷顯示基板，導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，尤其是對(duì)于大尺寸的顯示基板而言可能會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的形變量。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個(gè)方面提供了一種支...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。