技術(shù)編號(hào)：10430834
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。高精度微結(jié)構(gòu)表面是能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)、機(jī)械、物理、生物等特定功能的微小結(jié)構(gòu)性表面。通常對(duì)于高精度微米級(jí)線性三維微結(jié)構(gòu)的制造方法主要為MEMS技術(shù)和能量輔助加工技術(shù);但是上述技術(shù)存在加工精度差、生產(chǎn)效率低、制造成本高的問題；同時(shí)受被加工基板材料的限制，無法加工新型聚合物、金屬合金等高性能新材料，而超精密機(jī)械加工技術(shù)能彌補(bǔ)上述技術(shù)的不足。在機(jī)械加工結(jié)構(gòu)尺寸ΙΟμπι以下的微結(jié)構(gòu)前，需要獲取高精度的工件表面;然后，完成IMi以下精度的對(duì)刀;在工藝初期，需要了解切削過程...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。