技術(shù)編號：10346342
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。當前MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，簡稱MEMS，微機電系統(tǒng))傳感器正在向微型化、高密度化的方向發(fā)展，其中MEMS加速度計是所有MEMS傳感器中發(fā)展較為成功的一個方向，軍事上已經(jīng)實現(xiàn)了戰(zhàn)略導彈的應(yīng)用。工程上MEMS加速度傳感器精度已經(jīng)可以達到10—4g的量級。伴隨著光子集成線路的迅速發(fā)展，微光機電系統(tǒng)(MOEMS)將MEMS結(jié)構(gòu)與微光器件、半導體激光器、光檢測器件等完整地集成在一起。MOEMS顯然繼承了MEMS成熟的...
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