技術(shù)編號:10336905
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。利用太陽能電池發(fā)電是解決能源問題和環(huán)境問題的重要途徑之一。目前,80%以上的太陽能電池是由晶體硅材料制備而成的,制備高效率低成本的晶體硅太陽能電池對于大規(guī)模利用太陽能發(fā)電有著十分重要的意義。減反射膜的制備和氫鈍化是制備高效率的晶體硅太陽能電池的非常重要工序之一。PECVD鍍膜分為管式PECVD鍍膜和平板式PECVD鍍膜,后者的成本稍低一些,一般使用較多?,F(xiàn)有的平板式PECVD鍍膜一般采用U形掛鉤,由于采用U形掛鉤,硅片和石墨框架之間會有間隙,為了避免產(chǎn)生搖...
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