技術(shù)編號：10333411
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。按，半導體制程中，在生產(chǎn)機具內(nèi)必然會產(chǎn)生有害的工作氣體，而這些工作氣體必須透過管路輸送到后端的氣體處理設(shè)備作妥善處理。而管路一般是由數(shù)個金屬管串接所構(gòu)成。請參閱圖7所示，該金屬管包含第一、二管體82、84配合夾具86夾持串接，為了避免第一、二管體82、84連接處存有間隙，都必須使用連接環(huán)9以填補第一、二管體82、84連接處的間隙。傳統(tǒng)的連接環(huán)9的結(jié)構(gòu)，大致具有一金屬環(huán)92以及圍繞于金屬環(huán)92外側(cè)面的O形環(huán)94。當?shù)谝弧⒍荏w82、84與連接環(huán)9被夾具86夾...
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