技術(shù)編號：10300207
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前，上鍍膜石墨框根據(jù)硅片的外觀尺寸做出相應(yīng)的直角、倒角形狀，用于承載不同尺寸的倒角單晶、多晶硅片。針對單多晶硅片承載的要求，通常采用兩種設(shè)計，第一種設(shè)計是針對倒角單晶硅片、多晶硅片分別設(shè)計石墨框，生產(chǎn)使用時需要根據(jù)不同的產(chǎn)品做相應(yīng)的切換。第二種設(shè)計是在石墨框內(nèi)部同時做出直角、固定倒角形狀，生產(chǎn)單多晶產(chǎn)品時，不需要做任何切換。針對第一種設(shè)計，當(dāng)內(nèi)部形狀為直角的石墨框承載倒角硅片時，由于四個角有鏤空，會發(fā)生正面繞射現(xiàn)象;而當(dāng)內(nèi)部形狀為倒角的石墨框承載直角硅片...
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