技術(shù)編號(hào)：10156814
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。現(xiàn)有的動(dòng)態(tài)配氣裝置不僅功能單一，不能夠配制多種氣體，并且精確度較低，氣體流量不穩(wěn)定，使用不方便。有鑒于此，特提出本實(shí)用新型。實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述技術(shù)的不足之處，本實(shí)用新型提供一種溫度控制精度高、氣體流量穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便的多組分動(dòng)態(tài)配氣裝置。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種多組分動(dòng)態(tài)配氣裝置，包括稀釋氣體罐、穩(wěn)壓閥、純化劑罐、質(zhì)量流量計(jì)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)A、轉(zhuǎn)子流量計(jì)B、恒溫槽、裂解氣或加濕裝置、混合稀釋池、進(jìn)樣閥和排空閥；其中，所述稀釋氣體罐...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。