技術(shù)編號(hào)：10093850
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。激光直寫曝光機(jī)相對(duì)于傳統(tǒng)曝光機(jī)，節(jié)省了制作菲林底片或光罩的工序，其產(chǎn)能高、對(duì)位精度高。但是目前市面上的激光直寫曝光機(jī)均為單臺(tái)面設(shè)計(jì)，完成一個(gè)臺(tái)面的曝光工作需要等待較長(zhǎng)時(shí)間周期，其產(chǎn)能無法滿足生產(chǎn)需求。激光直寫曝光機(jī)在曝光之前，先要進(jìn)行聚集Z軸基于曝光基板的最佳焦面的定位、CCD系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)作業(yè)后，才開始光路系統(tǒng)的曝光作業(yè)，曝光作業(yè)前準(zhǔn)備工作時(shí)間較長(zhǎng)，工作過程中多是出現(xiàn)操作人員等待機(jī)器后再進(jìn)行人工操作，造成效率低下、產(chǎn)量低。而大部分企業(yè)為了能夠滿足產(chǎn)能需求，大...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。