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一種上部預(yù)緊式粘滑驅(qū)動(dòng)跨尺度精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10083643

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具有納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率,又具有毫米級(jí)運(yùn)動(dòng)行程的跨尺度精密運(yùn)動(dòng)技術(shù)是目前微驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域中的關(guān)鍵技術(shù),已經(jīng)運(yùn)用到許多重要的科學(xué)工程領(lǐng)域中。由于粘滑驅(qū)動(dòng)相對(duì)于其他類跨尺度運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式的驅(qū)動(dòng)原理簡(jiǎn)單、方便、控制簡(jiǎn)單,且具有分辨率高、運(yùn)動(dòng)范圍大、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精確定位和易微小化等優(yōu)點(diǎn),因此基于粘滑驅(qū)動(dòng)原理的裝備是目前跨尺度驅(qū)動(dòng)設(shè)備中應(yīng)用較多的一種。粘滑驅(qū)動(dòng)的工作原理主要是以摩擦力作為驅(qū)動(dòng)源,利用鋸齒形電壓激勵(lì)壓電振子的不對(duì)稱振動(dòng)所形成的動(dòng)靜摩擦力之間的差異來實(shí)現(xiàn)被驅(qū)動(dòng)體的微小...
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