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動(dòng)能調(diào)制熱電子晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):100729

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熱電子晶體管是一種超高速固體器件,早在1960年Mead〔1〕就已提出,60年代曾有不少工作,但都因當(dāng)時(shí)的工藝條件限制沒能成功。近年來,由于分子束外延等先進(jìn)工藝技術(shù)的發(fā)展,這一課題又重新提上日程。1980年Heiblum對(duì)此作了詳細(xì)的回顧,并提出異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu),此后,Shannon,〔2〕Malik,〔3〕Yokoyama,〔4〕Hase,〔5〕等人都先后報(bào)導(dǎo)了初步的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。通常的熱電子晶體管,其結(jié)構(gòu)和雙極晶體管類似,發(fā)射極是一個(gè)隧道結(jié),加偏壓后,勢(shì)壘厚度變薄,電子得以籍隧道效應(yīng)注入,由于注入電子有足夠能量,可以飛越...
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