技術(shù)編號：10037588
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。隨著光刻產(chǎn)業(yè)對光源輸出功率和線寬要求的不斷提高，受限于結(jié)構(gòu)特點，單腔結(jié)構(gòu)準(zhǔn)分子器件不能滿足高水平輸出功率和線寬同時輸出的特性。雙腔結(jié)構(gòu)的主振蕩-放大技術(shù)被引入以解決輸出功率和線寬的矛盾。其基本思想是利用種子腔產(chǎn)生小能量的窄線寬種子光，注入放大腔輸出大能量脈沖，從而得到窄線寬、大功率的優(yōu)質(zhì)激光輸出。目前相關(guān)的放大機制主要包括Μ0ΡΑ、MOPO(Gigaphoton)、MOPRA (Cymer)、MORRA (Lambda Physik)等。Cymer公司的X...
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