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基于非晶材料的高性能薄膜壓力傳感器的制造方法技術資料下載

技術編號:10014915

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薄膜壓力傳感器是一種性能優(yōu)良的壓力傳感器,它具有綜合精度高、工作溫度范圍寬、穩(wěn)定性好、耐腐蝕等優(yōu)良特點,在武器裝備、航空航天、石油化工、核工業(yè)、冶金等多個領域得到應用。目前,薄膜壓力傳感器的敏感電阻主要采用鎳鉻合金等材料制成,應變因子不高于2.5,傳感器的靈敏度不高,這樣傳感器的抗干擾能力差,限制了這類壓力傳感器在惡劣環(huán)境下使用。另外,現(xiàn)有的薄膜壓力傳感器如圖1所示,順次包括彈性體1,電路板支架3,轉(zhuǎn)換電路板4組成。所述的現(xiàn)有技術薄膜壓力傳感器的彈性體I的...
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