一種低溫真空泵的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種低溫真空泵，包括法蘭、泵體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設在泵體頂端，所述法蘭與泵體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設在泵體內(nèi)，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側安裝有真空罩，所述真空罩與泵體固定連接，所述泵體底部設置有制冷機，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級冷頭，所述第二級冷頭、第一級冷頭和制冷機依次密封連通，所述制冷機一側安裝有泄壓閥和制冷機驅(qū)動器，該低溫真空泵能夠獲得和維持潔凈無油的高真空及超高真空，結構緊湊，安裝方便可靠，維護方便。
【專利說明】
一種低溫真空泵
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種栗體技術領域，特別是涉及一種低溫真空栗。
【背景技術】
[0002]低溫真空栗指的是利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空栗。隨著微電子技術、半導體工業(yè)和空間模擬技術等現(xiàn)代科技和工業(yè)的發(fā)展，對高潔凈度的無污染工作環(huán)境的要求越加迫切。電子工業(yè)和真空鍍膜工業(yè)，尤其是半導體微電子技術，半導體和集成電路工藝技術要求能獲得無油的真空環(huán)境。
[0003]傳統(tǒng)的“油栗”真空系統(tǒng)，無論從潔凈的要求還是極限真空度的要求來看，都不能滿足要求。研究指出，在現(xiàn)有可用的獲得高真空的方法中，離子栗的理論真空極限為10-9Pa，分子栗為10-8 Pa，低溫栗為10-18 Pa?？梢?，低溫栗是所有真空栗中能獲得真空度最高的也是最清潔的真空栗。
[0004]低溫冷凝真空栗的工作原理就是當氣體分子入射到溫度足夠低的固體表面時，會被冷凝吸附于該低溫表面，以至蒸氣壓力降得很低，從而獲得高真空(10-7-10-llPa)。早在上世紀50年代末期，由于空間模擬、高速風洞和高能加速器等研究的需要，使采用低溫液體冷源的低溫真空栗獲得發(fā)展。1965年以后，小型封閉循環(huán)低溫制冷機的問世，為低溫栗的進一步發(fā)展和應用開辟了新路。從此，采用低溫制冷機作為冷卻源的低溫冷凝真空栗走向大規(guī)模的工業(yè)應用。低溫抽氣就是在低溫下使被抽空間內(nèi)的氣體被低溫表面冷凝凝聚、捕集吸附，從而使被抽空間的壓強降低的過程。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠獲得和維持潔凈無油的高真空及超高真空，結構緊湊，安裝方便可靠，維護方便的低溫真空栗。
[0006]為解決上述問題，本實用新型采用如下技術方案:
[0007]—種低溫真空栗，包括法蘭、栗體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設在栗體頂端，所述法蘭與栗體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設在栗體內(nèi)，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側安裝有真空罩，所述真空罩與栗體固定連接，所述栗體底部設置有制冷機，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級冷頭，所述第二級冷頭、第一級冷頭和制冷機依次密封連通，所述制冷機一側安裝有泄壓閥和制冷機驅(qū)動器。
[0008]進一步的，所述法蘭上設置有螺紋孔，方便進行安裝。
[0009]進一步的，所述第一冷凝翅片組冷卻溫度為80k，能夠進行預冷卻。
[0010]進一步的，所述第二冷凝翅片組冷卻溫度為15k，可實現(xiàn)氫的凝結，獲得高真空環(huán)境。
[0011]進一步的，所述制冷機驅(qū)動器與制冷機電性連接，保持制冷機驅(qū)動方便快捷。
[0012]進一步的，所述真空罩按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡15-20份、膨脹珍珠巖25-30份、礦物棉8-12份、碳纖維4-6份、硬脂酸鋁16-20份、硬脂酸鉀6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和鄰苯二甲酸二乙酯22-28份。
[0013]一種低溫真空栗的真空罩的加工工藝，將聚氨酯硬泡15-20份、膨脹珍珠巖25-30份、礦物棉8-12份、碳纖維4-6份、硬脂酸鋁16-20份、硬脂酸鉀6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和鄰苯二甲酸二乙酯22-28份混合投入反應釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-1600r/min，溫度為330-340 V，反應30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0014]本實用新型的有益效果是:設置的第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組能夠?qū)χ评錂C進行散熱，保持超低溫制冷，使得被抽空間內(nèi)的氣體被低溫表面冷凝凝聚、捕集吸附，從而使被抽空間的壓強降低，達到抽真空的狀態(tài)，第二級冷頭和第一級冷頭方便冷凝的液體排出，泄壓閥方便調(diào)節(jié)制冷機的壓強，保持使用安全，采用的真空罩材料和加工方便能夠保持結構強度高，使用壽命長，能夠耐受較大的壓力。
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1為本實用新型的一種低溫真空栗的結構圖。
【具體實施方式】
[0017]實施例1
[0018]參閱圖1所示，一種低溫真空栗，包括法蘭1、栗體2、第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4，所述法蘭I設在栗體2頂端，所述法蘭I與栗體2焊接，所述第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4設在栗體2內(nèi)，所述第一冷凝翅片組3成水平分布，所述第二冷凝翅片組4成垂直分布，所述第二冷凝翅片組4外側安裝有真空罩5，所述真空罩5與栗體2固定連接，所述栗體2底部設置有制冷機6，所述第一冷凝翅片組3中部安裝有第二級冷頭7，所述真空罩5下方安裝有第一級冷頭8，所述第二級冷頭7、第一級冷頭8和制冷機6依次密封連通，所述制冷機6—側安裝有泄壓閥9和制冷機驅(qū)動器10。
[0019]所述法蘭I上設置有螺紋孔11。
[0020]所述第一冷凝翅片組3冷卻溫度為80k。
[0021 ]所述第二冷凝翅片組4冷卻溫度為15k。
[0022 ]所述制冷機驅(qū)動器1與制冷機6電性連接。
[0023]所述真空罩5按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡15份、膨脹珍珠巖25份、礦物棉8份、碳纖維4份、硬脂酸鋁16份、硬脂酸鉀6份、硅油2份、脂肪酸酰胺15份和鄰苯二甲酸二乙酯22份。
[0024]一種低溫真空栗的真空罩5的加工工藝，將聚氨酯硬泡15份、膨脹珍珠巖25份、礦物棉8份、碳纖維4份、硬脂酸鋁16份、硬脂酸鉀6份、硅油2份、脂肪酸酰胺15份和鄰苯二甲酸二乙酯22份混合投入反應釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-1600r/min，溫度為330-340°C，反應30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0025]實施例2
[0026]參閱圖1所示，一種低溫真空栗，包括法蘭1、栗體2、第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4，所述法蘭I設在栗體2頂端，所述法蘭I與栗體2焊接，所述第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4設在栗體2內(nèi)，所述第一冷凝翅片組3成水平分布，所述第二冷凝翅片組4成垂直分布，所述第二冷凝翅片組4外側安裝有真空罩5，所述真空罩5與栗體2固定連接，所述栗體2底部設置有制冷機6，所述第一冷凝翅片組3中部安裝有第二級冷頭7，所述真空罩5下方安裝有第一級冷頭8，所述第二級冷頭7、第一級冷頭8和制冷機6依次密封連通，所述制冷機6—側安裝有泄壓閥9和制冷機驅(qū)動器10。
[0027]所述法蘭I上設置有螺紋孔11。
[0028]所述第一冷凝翅片組3冷卻溫度為80k。
[0029]所述第二冷凝翅片組4冷卻溫度為15k。
[0030]所述制冷機驅(qū)動器10與制冷機6電性連接。
[0031 ]所述真空罩5按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡17.5份、膨脹珍珠巖27.5份、礦物棉10份、碳纖維5份、硬脂酸鋁18份、硬脂酸鉀8份、硅油5份、脂肪酸酰胺17.5份和鄰苯二甲酸二乙酯25份。
[0032]—種低溫真空栗的真空罩5的加工工藝，將聚氨酯硬泡17.5份、膨脹珍珠巖27.5份、礦物棉10份、碳纖維5份、硬脂酸鋁18份、硬脂酸鉀8份、硅油5份、脂肪酸酰胺17.5份和鄰苯二甲酸二乙酯25份混合投入反應釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-160(^/1^11，溫度為330-340°(:，反應30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0033]實施例3
[0034]參閱圖1所示，一種低溫真空栗，包括法蘭1、栗體2、第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4，所述法蘭I設在栗體2頂端，所述法蘭I與栗體2焊接，所述第一冷凝翅片組3和第二冷凝翅片組4設在栗體2內(nèi)，所述第一冷凝翅片組3成水平分布，所述第二冷凝翅片組4成垂直分布，所述第二冷凝翅片組4外側安裝有真空罩5，所述真空罩5與栗體2固定連接，所述栗體2底部設置有制冷機6，所述第一冷凝翅片組3中部安裝有第二級冷頭7，所述真空罩5下方安裝有第一級冷頭8，所述第二級冷頭7、第一級冷頭8和制冷機6依次密封連通，所述制冷機6—側安裝有泄壓閥9和制冷機驅(qū)動器10。
[0035]所述法蘭I上設置有螺紋孔11。
[0036]所述第一冷凝翅片組3冷卻溫度為80k。
[0037]所述第二冷凝翅片組4冷卻溫度為15k。
[0038]所述制冷機驅(qū)動器10與制冷機6電性連接。
[0039]所述真空罩5按質(zhì)量份數(shù)配比由以下材料制成:聚氨酯硬泡20份、膨脹珍珠巖30份、礦物棉12份、碳纖維6份、硬脂酸鋁20份、硬脂酸鉀10份、硅油8份、脂肪酸酰胺20份和鄰苯二甲酸二乙酯28份。
[0040]一種低溫真空栗的真空罩5的加工工藝，將聚氨酯硬泡20份、膨脹珍珠巖30份、礦物棉12份、碳纖維6份、硬脂酸鋁20份、硬脂酸鉀10份、硅油8份、脂肪酸酰胺20份和鄰苯二甲酸二乙酯28份混合投入反應釜中，保持轉(zhuǎn)速為1500-1600r/min，溫度為330-340°C，反應30-35分鐘，再將得到的原料熱擠壓成型，即可。
[0041]本實用新型的有益效果是:設置的第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組能夠?qū)χ评錂C進行散熱，保持超低溫制冷，使得被抽空間內(nèi)的氣體被低溫表面冷凝凝聚、捕集吸附，從而使被抽空間的壓強降低，達到抽真空的狀態(tài)，第二級冷頭和第一級冷頭方便冷凝的液體排出，泄壓閥方便調(diào)節(jié)制冷機的壓強，保持使用安全，采用的真空罩材料和加工方便能夠保持結構強度高，使用壽命長，能夠耐受較大的壓力。
[0042]以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)，因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種低溫真空栗，其特征在于:包括法蘭、栗體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設在栗體頂端，所述法蘭與栗體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設在栗體內(nèi)，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側安裝有真空罩，所述真空罩與栗體固定連接，所述栗體底部設置有制冷機，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級冷頭，所述第二級冷頭、第一級冷頭和制冷機依次密封連通，所述制冷機一側安裝有泄壓閥和制冷機驅(qū)動器。2.如權利要求1所述的低溫真空栗，其特征在于:所述法蘭上設置有螺紋孔。3.如權利要求2所述的低溫真空栗，其特征在于:所述第一冷凝翅片組冷卻溫度為80k。4.如權利要求3所述的低溫真空栗，其特征在于:所述第二冷凝翅片組冷卻溫度為15k。5.如權利要求4所述的低溫真空栗，其特征在于:所述制冷機驅(qū)動器與制冷機電性連接。
【文檔編號】F04B39/06GK205478178SQ201620149494
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年2月29日
【發(fā)明人】張?zhí)焖? 胡仁農(nóng)
【申請人】蕪湖環(huán)球汽車配件有限公司