一種等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制作設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)是涉及一種等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)是當(dāng)前薄膜太陽(yáng)能電池的關(guān)鍵制備技術(shù)之一，如何實(shí)現(xiàn)大面積沉膜的均勻性，提高薄膜電池的效率及穩(wěn)定性，是PECVD未來(lái)發(fā)展的重要方向，而大面積電容耦合PECVD影響沉膜均勻性的關(guān)鍵因素是:電場(chǎng)、溫度場(chǎng)和流體場(chǎng)。隨著技術(shù)發(fā)展，對(duì)產(chǎn)品的效率要求越來(lái)越高，出現(xiàn)了超大產(chǎn)能的PECVD設(shè)備，設(shè)備產(chǎn)能加大及石英管內(nèi)部體積變大，所以電場(chǎng)、溫度場(chǎng)和流體場(chǎng)都會(huì)更難保證穩(wěn)定。
[0003]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種產(chǎn)生電場(chǎng)的電極裝置。如圖1所示，通入石英管內(nèi)部的正電極桿21和負(fù)電極桿22都是從爐管尾蓋11進(jìn)入，頂?shù)绞?0上，在石墨舟30內(nèi)部形成電場(chǎng)，這樣電場(chǎng)就從整個(gè)石墨舟30的尾端傳遞到石墨舟30的前端，使得石墨舟尾部電場(chǎng)與石墨舟前部電場(chǎng)有很大差異。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備，通過(guò)將電場(chǎng)從石墨舟前后兩端導(dǎo)入，使得石墨舟尾部電場(chǎng)與石墨舟前部電場(chǎng)差異減小，整個(gè)石墨舟電場(chǎng)更加均勻、穩(wěn)定。
[0005]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:一種等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括爐管，設(shè)于該爐管內(nèi)的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋和后蓋組成，其特征在于，所述的電極裝置包括兩個(gè)分開(kāi)設(shè)置并固定在所述的前蓋和后蓋上的電極固定桿和正負(fù)電極桿，所述的正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在所述的電極固定桿上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸。
[0006]所述正負(fù)電極桿從所述爐管的后蓋引入，所述正電極桿上靠近后蓋的固定塊為導(dǎo)電電極固定塊，遠(yuǎn)離后蓋的固定塊為絕緣電極固定塊，所述負(fù)電極桿上靠近后蓋的固定塊為絕緣電極固定塊，遠(yuǎn)離后蓋的固定塊為導(dǎo)電電極固定塊。
[0007]所述正負(fù)電極桿分別從所述爐管的前蓋和后蓋引入，靠近引入側(cè)的固定塊為導(dǎo)體，遠(yuǎn)離引入側(cè)的固定塊為絕緣體。
[0008]本實(shí)用新型提出的等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備，正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在電極固定桿上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸，這樣電場(chǎng)從石墨舟前后兩端導(dǎo)入，使得石墨舟尾部電場(chǎng)與石墨舟前部電場(chǎng)差異減小，整個(gè)石墨舟電場(chǎng)更加均勾、穩(wěn)定。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖3為從圖2中底面看的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型提出的等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括爐管、石墨舟30和電極裝置，爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋12和后蓋11組成，石墨舟30和電極裝置設(shè)于該爐管內(nèi)。
[0013]電極裝置包括兩個(gè)分開(kāi)設(shè)置并固定在前蓋12和后蓋11上的電極固定桿40和正負(fù)電極桿，正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在電極固定桿40上，并在整個(gè)石墨舟30長(zhǎng)度上延伸。
[0014I本實(shí)施例中，正負(fù)電極桿從所述爐管的后蓋引入，正電極桿21上靠近后蓋11的固定塊為導(dǎo)電電極固定塊51，遠(yuǎn)離后蓋11的固定塊為絕緣電極固定塊52，負(fù)電極桿22上靠近后蓋11的固定塊為絕緣電極固定塊52，遠(yuǎn)離后11蓋的固定塊為導(dǎo)電電極固定塊51。正負(fù)電極桿也可以分別從爐管的前蓋和后蓋引入，靠近引入側(cè)的固定塊為導(dǎo)電電極固定塊，遠(yuǎn)離引入側(cè)的固定塊為絕緣電極固定塊。
[0015]正負(fù)電極桿包括直線(xiàn)段和彎折段，直線(xiàn)段的后端固定在導(dǎo)電電極固定塊51上，彎折段的前端固定在導(dǎo)電電極固定塊51上，導(dǎo)電電極固定塊51固定在電機(jī)固定桿40上。
[0016]正電極桿21包括直線(xiàn)段和彎折段，該彎折段呈直角彎折兩次，彎折段先呈直角向下彎折，然后再呈直角向外水平彎折靠近電極固定桿40，彎折段的前端與電極固定桿40平行，彎折段的前端固定在導(dǎo)電電極固定塊51上，直線(xiàn)段靠近電極固定桿40且與電極固定桿40平行，直線(xiàn)段的后端固定在導(dǎo)電電極固定塊51，同時(shí)該導(dǎo)電電極固定塊51固定在電極固定桿40上，直線(xiàn)段上靠近石墨舟30尾端的位置處固定在導(dǎo)電電極固定塊51上，該導(dǎo)電電極固定塊51固定在電極固定桿40上及石墨舟30的尾端上，直線(xiàn)段的前端固定在絕緣電極固定塊52上，該絕緣電極固定塊52固定在電極固定桿40上及石墨舟30的前端上，這樣正電極桿21直接從石墨舟的尾端導(dǎo)電。
[0017]負(fù)電極桿22包括直線(xiàn)段和彎折段，該彎折段呈直角彎折兩次，彎折段先呈直角向下彎折，然后再呈直角向外水平彎折靠近電極固定桿40，彎折段的前端與電極固定桿40平行，彎折段的前端固定在導(dǎo)電電極固定塊51上，直線(xiàn)段靠近電極固定桿40且與電極固定桿40平行，直線(xiàn)段的后端固定在導(dǎo)電電極固定塊51，同時(shí)該導(dǎo)電電極固定塊51固定在電極固定桿40上，直線(xiàn)段上靠近石墨舟30尾端的位置處固定在絕緣電極固定塊52，該絕緣電極固定塊52固定在電極固定桿40上及石墨舟30的尾端上，直線(xiàn)段的前端固定在導(dǎo)電電極固定塊51上，該導(dǎo)電電極固定塊51固定在電極固定桿40上及石墨舟30的前端上，這樣負(fù)電極桿22直接從石墨舟的前端導(dǎo)電。
[0018]本實(shí)用新型通過(guò)將正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在所述的電極固定桿上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸，這樣電場(chǎng)從石墨舟前后兩端導(dǎo)入，使得石墨舟尾部電場(chǎng)與石墨舟前部電場(chǎng)差異減小，整個(gè)石墨舟電場(chǎng)更加均勻。另外，從石墨舟前端導(dǎo)電的電極桿通過(guò)固定塊固定在電極固定桿或石墨舟上，這樣使得從石墨舟前端導(dǎo)電的電極桿能夠長(zhǎng)期在高溫環(huán)境下不變型。
[0019]以上的具體實(shí)施例僅用以舉例說(shuō)明本實(shí)用新型的構(gòu)思，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的構(gòu)思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括爐管，設(shè)于該爐管內(nèi)的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋和后蓋組成，其特征在于，所述的電極裝置包括兩個(gè)分開(kāi)設(shè)置并固定在所述的前蓋和后蓋上的電極固定桿和正負(fù)電極桿，所述的正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在所述的電極固定桿上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述正負(fù)電極桿從所述爐管的后蓋引入，所述正電極桿上靠近后蓋的固定塊為導(dǎo)電電極固定塊，遠(yuǎn)離后蓋的固定塊為絕緣電極固定塊，所述負(fù)電極桿上靠近后蓋的固定塊為絕緣電極固定塊，遠(yuǎn)離后蓋的固定塊為導(dǎo)電電極固定塊。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述正負(fù)電極桿分別從所述爐管的前蓋和后蓋引入，靠近引入側(cè)的固定塊為導(dǎo)體，遠(yuǎn)離引入側(cè)的固定塊為絕緣體。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括爐管，設(shè)于該爐管內(nèi)的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋和后蓋組成，其特征在于，所述的電極裝置包括兩個(gè)分開(kāi)設(shè)置并固定在所述的前蓋和后蓋上的電極固定桿和正負(fù)電極桿，所述的正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在所述的電極固定桿上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸。本實(shí)用新型電場(chǎng)從石墨舟前后兩端導(dǎo)入，使得石墨舟尾部電場(chǎng)與石墨舟前部電場(chǎng)差異減小，整個(gè)石墨舟電場(chǎng)更加均勻、穩(wěn)定。
【IPC分類(lèi)】C23C16/44
【公開(kāi)號(hào)】CN205347569
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620010508
【發(fā)明人】李致文, 張勇
【申請(qǐng)人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月29日
【申請(qǐng)日】2016年1月7日