一種pop產(chǎn)品的mrt分析系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]針對(duì)疊層封裝產(chǎn)品進(jìn)行MRT分析時(shí)，目前光學(xué)顯微鏡無(wú)法對(duì)產(chǎn)品整體形貌圖片留樣且景深小;現(xiàn)使用無(wú)損檢測(cè)探頭同時(shí)進(jìn)行C-Scan(面掃)與T-Scan(穿透型掃描)時(shí)，穿透力弱及分辨率低;進(jìn)行切片時(shí)，現(xiàn)有鑲嵌固化材料的熱應(yīng)力破壞疊層封裝產(chǎn)品且探測(cè)周期長(zhǎng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型提供一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)，解決了C-Scan模式時(shí)，分辨率低;T-Scan模式時(shí)，穿透力弱的難題，可以準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)POP內(nèi)部異常點(diǎn)，為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:本實(shí)用新型包括探頭1、控制端2、接收器3、高度調(diào)節(jié)裝置4、掃描探測(cè)儀5，所述控制端2與高度調(diào)節(jié)裝置4、接收器3、掃描探測(cè)儀5連接，所述高度調(diào)節(jié)裝置4上安裝有探頭I，所述探頭I上安裝有掃描探測(cè)儀5、測(cè)距傳感器6，所述掃描探測(cè)儀5位于所述接收器3上方。
[0004]優(yōu)選的，所述測(cè)距傳感器6為紅外測(cè)距傳感器，所述測(cè)距傳感器6與所述控制端2連接。
[0005]優(yōu)選的，所述高度調(diào)節(jié)裝置4包括有線性驅(qū)動(dòng)器、與所述線性驅(qū)動(dòng)器連接的伸縮軸，所述伸縮軸上還設(shè)置有刻度線。
[0006]優(yōu)選的，所述控制端2包括PC機(jī)、與所述PC機(jī)連接的M⑶微處理器。
[0007]優(yōu)選的，所述MCU微處理器輸入端與掃描探測(cè)儀5、測(cè)距傳感器6連接，所述M⑶微處理器輸出端與所述線性驅(qū)動(dòng)器連接。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果:本裝置根據(jù)不同工作模式選擇不同頻率的掃描探測(cè)儀，控制端的控制軟件、算法軟件得出最優(yōu)定位距離，并通過(guò)控制端控制調(diào)節(jié)探頭和掃描探測(cè)儀的高度，解決C-Scan模式分辨率低，T-Scan模式穿透力弱的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型中控制電路的原理圖。
[0011]圖中，1、探頭;2、控制端;3、接收器;4、高度調(diào)節(jié)裝置;5、掃描探測(cè)儀;6、測(cè)距傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0012]由圖1所示可知，本實(shí)用新型包括探頭1、控制端2、接收器3、高度調(diào)節(jié)裝置4、掃描探測(cè)儀5，所述控制端2與高度調(diào)節(jié)裝置4、接收器3、掃描探測(cè)儀5連接，所述高度調(diào)節(jié)裝置4上安裝有探頭I，所述探頭I上安裝有掃描探測(cè)儀5、測(cè)距傳感器6，所述掃描探測(cè)儀5位于所述接收器3上方。
[0013]優(yōu)選的，所述測(cè)距傳感器6為紅外測(cè)距傳感器，所述測(cè)距傳感器6與所述控制端2連接。
[0014]優(yōu)選的，所述高度調(diào)節(jié)裝置4包括有線性驅(qū)動(dòng)器、與所述線性驅(qū)動(dòng)器連接的伸縮軸，所述伸縮軸上還設(shè)置有刻度線。
[0015]優(yōu)選的，所述控制端2包括PC機(jī)、與所述PC機(jī)連接的M⑶微處理器。
[0016]優(yōu)選的，所述MCU微處理器輸入端與掃描探測(cè)儀5、測(cè)距傳感器6連接，所述M⑶微處理器輸出端與所述線性驅(qū)動(dòng)器連接。
[0017]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本專利申請(qǐng)的原理及其功效，而非用于限制本專利申請(qǐng)。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本專利申請(qǐng)的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本專利申請(qǐng)所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本專利申請(qǐng)的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)，包括探頭(I)、控制端(2)、接收器(3)、高度調(diào)節(jié)裝置(4)、掃描探測(cè)儀(5)，其特征在于:所述控制端(2)與高度調(diào)節(jié)裝置(4)、接收器(3)、掃描探測(cè)儀(5)連接，所述高度調(diào)節(jié)裝置(4)上安裝有探頭(I)，所述探頭(I)上安裝有掃描探測(cè)儀(5)、測(cè)距傳感器(6)，所述掃描探測(cè)儀(5)位于所述接收器(3)上方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)距傳感器(6)為紅外測(cè)距傳感器，所述測(cè)距傳感器(6)與所述控制端(2)連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)，其特征在于，所述高度調(diào)節(jié)裝置(4)包括有線性驅(qū)動(dòng)器、與所述線性驅(qū)動(dòng)器連接的伸縮軸，所述伸縮軸上還設(shè)置有刻度線。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)，其特征在于，所述控制端(2)包括PC機(jī)、與所述PC機(jī)連接的MCU微處理器。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)，其特征在于，所述MCU微處理器輸入端與掃描探測(cè)儀(5)、測(cè)距傳感器(6)連接，所述MCU微處理器輸出端與所述線性驅(qū)動(dòng)器連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種POP產(chǎn)品的MRT分析系統(tǒng)，包括探頭、控制端、接收器、高度調(diào)節(jié)裝置、掃描探測(cè)儀，所述控制端與高度調(diào)節(jié)裝置、接收器、掃描探測(cè)儀連接，所述高度調(diào)節(jié)裝置上安裝有探頭，所述探頭上安裝有掃描探測(cè)儀、測(cè)距傳感器，所述掃描探測(cè)儀位于所述接收器上方，本裝置根據(jù)不同工作模式選擇不同頻率的掃描探測(cè)儀，控制端的控制軟件、算法軟件得出最優(yōu)定位距離，并通過(guò)控制端控制調(diào)節(jié)探頭和掃描探測(cè)儀的高度，解決C-Scan模式分辨率低，T-Scan模式穿透力弱的問(wèn)題。
【IPC分類】G01N21/95
【公開(kāi)號(hào)】CN205301200
【申請(qǐng)?zhí)枴?br>【發(fā)明人】卞正鳳
【申請(qǐng)人】海太半導(dǎo)體（無(wú)錫）有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月8日
【申請(qǐng)日】2015年12月2日